顯微鏡資訊：傳統(tǒng)的聚焦離子束顯微鏡具有以下功能和應(yīng)用

聚焦離子束(FIB)

傳統(tǒng)文化聚焦式離子束顯微鏡具有以下主要功能：

（1）定點(diǎn)切割；

（2）選擇性材料蒸發(fā)；

(3)強(qiáng)化蝕刻或選擇性蝕刻;

(4)蝕刻終點(diǎn)檢測(cè)等。體視顯微鏡一臺(tái)儀器。指從不同角度觀察物體,使雙眼引起立體感覺的雙目顯微鏡。熒光顯微鏡以紫外線為光源， 用以照射被檢物體， 使之發(fā)出熒光， 然后在顯微鏡下觀察物體的形狀及其所在位置。熒光顯微鏡用于研究細(xì)胞內(nèi)物質(zhì)的吸收、運(yùn)輸、化學(xué)物質(zhì)的分布及定位等。生物顯微鏡用來觀察生物切片、生物細(xì)胞、細(xì)菌以及活體組織培養(yǎng)、流質(zhì)沉淀等的觀察和研究，同時(shí)可以觀察其他透明或者半透明物體以及粉末、細(xì)小顆粒等物體。左圖所示為生產(chǎn)的倒置生物顯微鏡型，該生物顯微鏡也是食品廠、飲用水廠辦QS、HACCP認(rèn)證的必備檢驗(yàn)設(shè)備。目前，聚焦離子束顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電子工業(yè)和集成電路工業(yè)

主要的應(yīng)用研究可分為包括以下五大類：

（1）IC線路維修和放置驗(yàn)證

(2)透射電子顯微鏡樣本生產(chǎn);

(3)部件故障的觀察和分析；

（4）生產(chǎn)線製程異常數(shù)據(jù)分析及；

(5)IC工藝監(jiān)控-例如光刻膠切割等。

聚焦離子束(FIB)是**種利用離子束作為入射源來分析或處理材料的方法。聚焦離子束顯微鏡系統(tǒng)是利用電子透鏡將離子束聚焦到一個(gè)非常小的微切割儀器中。目前，工業(yè)系統(tǒng)中的粒子束主要是液態(tài)金屬離子源(LMIS) ，金屬鎵(GA)因其熔點(diǎn)低、蒸氣壓低、抗氧化性能好等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛使用。

典型的離子束顯微鏡包括液態(tài)金屬離子源、電透鏡、掃描電極、二次粒子探測(cè)器、5-7軸移動(dòng)樣品底座、真空系統(tǒng)、抗振和磁場裝置、電子控制面板、計(jì)算機(jī)和其他硬件設(shè)備。對(duì)液態(tài)金屬離子源施加電場(抑制器)可以使液態(tài)鎵形成細(xì)小的**，負(fù)電場(提取器)拉動(dòng)**鎵。鎵離子束通過電透鏡聚焦，離子束的大小可以通過一系列可變孔徑(AVA)來確定，然后離子束兩次聚焦在試件表面，通過物理碰撞達(dá)到切割的目的。